ВЛИЯНИЕ ПЕРЕХОДНЫХ ПРОЦЕССОВ В ТОНКОПЛЕНОЧНОЙ ГЕТЕРОСТРУКТУРЕ
НА НАДЕЖНОСТЬ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ТЕНЗОРЕЗИСТОРНЫХ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ 

Аверин Игорь Александрович, доктор технических наук, профессор кафедры нано- и микроэлектроники Пензенского государственного университета.
Волохов Игорь Валерианович, заместитель начальника технологического комплекса – начальник лаборатории ФГУП «НИИ физических измерений» (г. Пенза).
Мокров Евгений Александрович, доктор технических наук, профессор, генеральный директор – главный конструктор ФГУП «НИИ физических измерений» (г. Пенза).
Печерская Римма Михайловна, доктор технических наук, профессор, заведующая кафедрой микро- и наноэлектроники Пензенского государственного университета.

531.781.084.2

Рассматриваются переходные процессы в тонкопленочной гетероструктуре, механизм возникновения короткого замыкания из-за диффузии материала проводника в тонкую диэлектрическую пленку, оказывающие влияние на надежность чувствительных элементов тензорезисторных датчиков давления.

 Скачать статью в формате PDF

1. Аверин, И. А. Управление составом многокомпонентных систем / И. А. Аверин, Р. М. Печерская // Известия высших учебных заведений. Поволжский регион. – 2006. – № 5. – С. 184–190. – (Естественные науки).
2. Волохов, И. В. Исследование свойств тонких пленок из многокомпонентных сплавов с помощью специального аналитического оборудования / И. В. Волохов, Е. В. Песков // Датчики и детекторы для авиационной техники : сборник докладов научно-технической конференции. – Пенза, 2003. –             С. 167–172.
3. Коробов, А. И. Отказы корпусированных интегральных схем / А. И. Коробов, Р. В. Сипета // Технологии приборостроения. – 2006. – № 2 (18). – С. 62–68.